超高精度可編程真空壓力控制器（壓強控制器/溫度和氣壓控制器/張力控制器）

High Precision Programmable Vacuum Pressure Controller & Temperature Controller

一、簡介 依陽公司出品的VPC2021系列控制器是一種強大的多功能高度智能化的真空壓力溫度測量、顯示和控制儀器，采用了24位AD、16位DA、0.01%最小輸出百分比和人工智能PID控制技術(shù)，可與各種型號的真空壓力傳感器（真空計）、流量計、溫度傳感器、位置傳感器、電動調(diào)節(jié)閥門和加熱器等連接，可實現(xiàn)高精度真空壓力（壓強）、流量、溫度和張力等參量的定點和程序控制，是一種替代國外高端產(chǎn)品的高性能和高性價比控制器。 二、主要技術(shù)指標

（1）測控精度：±0.05%FS（24位ADC），16位DAC，雙浮點運算。
（2）輸入信號：可連接眾多真空壓力傳感器，47種信號輸入類型（電壓、電流、熱電偶、熱電阻）。

（3）控制輸出：4種控制輸出類型（模擬信號、固態(tài)繼電器、繼電器、可控硅），可連接眾多電動調(diào)節(jié)閥。

（4）控制精度：±0.1%FS（16位DAC），控制輸出最小百分比0.01%。

（5）控制算法：PID控制和自整定（可存儲和調(diào)用20組PID參數(shù)）。
（6）控制方式：定點和程序控制，最大可支持9條控制曲線，每條可設(shè)定24段程序曲線。
（7）控制周期：50ms。
（8）通訊方式：RS 485和以太網(wǎng)通訊。
（9）供電電源：交流（86-260V）或直流24V。
（10）外形尺寸： 96×96×136.5mm （開孔尺寸92×92mm）。

三、特點和優(yōu)勢

（1）高精度24位數(shù)據(jù)采集、16位控制輸出和雙浮點運算使得此系列控制器具有超高精度（優(yōu)于0.1%）的控制能力。

（2）具有各種不同類型信號的輸入功能，可覆蓋多種測量傳感器，既可連接真空計用來控制真空壓力和壓強，也可用來控制其它變量，如連接流量計用來控制流量、連接溫度傳感器用來進行溫度控制等。

（3）可連接和控制幾乎所有的電動調(diào)節(jié)閥和數(shù)字控制閥門，也可連接控制各種加熱裝置，結(jié)合傳感器由此組成可靠的閉環(huán)控制系統(tǒng)。

（4）控制器體積小巧和使用靈活，即可獨立做為面板型控制器使用，也可集成在測試系統(tǒng)整機中使用。

（5）采用了標準的MODBUS通訊協(xié)議，便于控制器與上位機通訊和進行二次開發(fā)。

（6）具有正反向控制輸出功能，可實現(xiàn)真空壓力的兩種控制模式，一種是可變氣流量（上游控制）壓強控制模式，另一種是可變通導（下游控制）流量調(diào)節(jié)模式。

（7）可連接兩個傳感器，并可進行自動切換，由此可實現(xiàn)擴展測量量程和傳感器備份。

上游控制模式	下游控制模式
上游和下游同時控制的雙向模式

四、外形和開孔尺寸

五、功能說明

（1）超高精度PID控制器的特殊功能（1）——遠程設(shè)定點功能及其應(yīng)用

（2）超高精度PID控制器的特殊功能（2）——遠程控制軟件及其安裝使用

（3）超高精度PID控制器的特殊功能（3）——變送功能及其應(yīng)用

（4）超高精度PID控制器的特殊功能（4）——分程控制功能及其應(yīng)用

（5）超高精度PID控制器的特殊功能（5）——傳感器線性化處理功能及其應(yīng)用

六、典型應(yīng)用

（1） 氣壓對材料熱導率測試影響的試驗研究

（2） 星際空間環(huán)境地面模擬——氣氛、氣壓或真空度的精確模擬及控制

（3） 高純度熔融石英圓筒等離子熔融工藝研究-真空度（壓強）控制系統(tǒng)

（4） 真空度（氣壓）控制中的上游模式和下游模式的特點及其新技術(shù)

（5） 徹底講清如何在真空系統(tǒng)中實現(xiàn)壓力和真空度的準確測量和控制

（6） 真空冷凍干燥過程中壓力和真空度控制的最佳操作實踐

（7） 微波等離子體高溫熱處理工藝中真空壓力的下游控制技術(shù)及其裝置

（8） 微波等離子體化學氣相沉積（MPCVD）系統(tǒng)中真空壓力控制裝置的國產(chǎn)化替代

（9） 高精度壓強（真空）和溫度同時控制技術(shù)在光譜測量和光譜儀中的應(yīng)用

（10）具有雙傳感器自動切換功能的雙通道24位高精度PID控制器

（11）CVD和MPCVD法鉆石生長過程中采用雙通道PID控制器控制真空度（氣壓）和溫度

（12）電動針閥在上游模式以及電動球閥在下游模式真空度（壓強）控制中的考核試驗

（13）氫燃料電池膜電極漏率測試方法中存在的問題及改進措施

（14）國產(chǎn)化替代艾默生ER5000系列電子壓力控制器及其功能擴展

（15）壓降法在高溫土壤氣體滲透率測量中的應(yīng)用及其實施方案

（16）美國MKS公司上游流量控制閥及其控制器的國產(chǎn)化替代

（17）真空濃縮過程中新型PID控制器和高速電動閥門對溫度和壓強的精確控制

（18）真空壓力控制技術(shù)在低溫恒溫器高精度溫度恒定中的應(yīng)用

（19）手套箱中真空度和溫度控制方法的詳細教程

（20）真空激光粉末床融合中的氣氛環(huán)境壓力控制

（21）英福康（Inficon）VDE016和普發(fā)（Pfeiffer）EVR116氣體控制閥及其控制器的國產(chǎn)化替代

（22）電動針閥和雙通道控制器在真空冷凍干燥高精度壓力控制中的應(yīng)用

（24）微納衛(wèi)星電熱等離子體微推進器羽流特性測試中的低氣壓精確控制方法

（25）探空儀檢定用低壓環(huán)境模擬艙壓力控制系統(tǒng)的升級改造

（26）瑞利-布里淵散射光譜測量中溫度和壓力的精確控制方法

（27）階梯光柵光譜儀中壓力的精密控制技術(shù)及其實施方案

（28）邁克爾遜激光干涉儀微位移和傾角測量中的真空度精密控制技術(shù)

（29）數(shù)控閥門在MOCVD工藝真空壓力精密控制中的應(yīng)用

（30）旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀：真空、溫度和旋轉(zhuǎn)的集成式控制器及其耐腐蝕數(shù)控調(diào)節(jié)閥

（31）真空微波干燥（VMD）過程中真空度、溫度和轉(zhuǎn)速的精密控制

（32）真空脈沖鹵制工藝中的真空度和溫度快速和精密控制技術(shù)

（33）氣密真空冷熱臺的真空度精密控制

（34）月壤環(huán)境地面模擬試驗裝置中的真空度精密控制技術(shù)方案

（35）蒸發(fā)濃縮工藝中降低溶劑損耗的真空度精密控制解決方案

（36）低壓滲碳工藝中的真空度精密控制解決方案

（37）采用真空壓力精密控制的吸附夾具實現(xiàn)超低損耗單模光纖熔融拉錐制作

（38）玻璃塑形吹氣壓力自動控制解決方案

（39）超導重力儀器中的超高精度溫度（0.1mK）和氣壓控制解決方案

（40）數(shù)字針閥在便攜式真空計校準裝置中的應(yīng)用

（41）高精度氣體壓力控制中TESCOM ER5000及其配套背壓閥的國產(chǎn)化替代案例分析

（42）CVD工藝中MKS下游排氣高速節(jié)流閥的國產(chǎn)化替代方案及產(chǎn)品

（43）工業(yè)減壓蒸餾工藝中大流量耐腐蝕快響應(yīng)精密真空控制的解決方案

（44）低壓緩沖罐的真空度精密控制解決方案

（45）低壓與高壓（負壓與正壓）之間的真空壓力連續(xù)控制解決方案

（46）呼吸閥在線檢驗校準裝置中的正負壓連續(xù)精密控制解決方案

（47）循環(huán)腫瘤細胞（CTCs）檢測儀器進樣系統(tǒng)微小正負壓精密控制的解決方案

（48）用于微流控芯片的多通道正負壓力控制器解決方案

（49）CVD和PECVD管式爐真空控制系統(tǒng)的升級改造

（50）步進電機驅(qū)動比例閥在氣腹機精密壓力和流量控制中的應(yīng)用

（51）電氣比例閥作為先導閥結(jié)合真空背壓閥和外置傳感器實現(xiàn)低氣壓控制的考核試驗

（52）掃描電子顯微鏡（SEM）低真空技術(shù)改造以提升觀測能力的解決方案

（53）真空釬焊爐中大流量正負壓循環(huán)控制的解決方案

（54）溫度敏感材料干燥過程中的真空度精密控制解決方案文件管理

（55）工業(yè)應(yīng)用中0.1%超高精度PID控制器的實現(xiàn)及其關(guān)鍵指標分析

（56）表壓0.1~0.6MPa范圍內(nèi)0.1?%超高精度壓力控制解決方案及其考核試驗結(jié)果

（57）電氣比例閥外接壓力傳感器和PID控制器實現(xiàn)微正壓的超高精度控制

（58）徹底講清電氣比例閥和壓力傳感器測控精度的基本概念及其使用方法

（59）三種典型電氣比例閥線性度和短期重復性的對比考核試驗

（60）PVT法碳化硅SIC單晶生長工藝真空壓力控制裝置的國產(chǎn)化替代解決方案

（61）采用電氣比例閥級聯(lián)控制法實現(xiàn)研磨機超高精度壓力控制

（62）微焊接中真空控制系統(tǒng)的壓力調(diào)節(jié)解決方案

（63）采用串級控制法實現(xiàn)注塑工藝高壓壓力精密控制的解決方案

（64）超高精度浮輥和張力雙回路控制器：Montalvo張力控制器的國產(chǎn)替代

（65）串級、分程、比值、前饋、選擇性和三沖量六種復雜控制系統(tǒng)簡述

（66）高壓流變儀用TESCOM ER5000高精度壓力控制系統(tǒng)的國產(chǎn)化替代方案

（67）真空干燥粉體材料工藝中避免揚塵排放等安全隱患的解決方案

（68）防熱材料熱性能測試和炭化過程中的氧分壓精密控制方法

（69）電氣轉(zhuǎn)換器（I-P電流型、E-P電壓型）與電氣比例閥的基本原理和對比

（70）更安全、精密和快速的一次性生物反應(yīng)器袋充氣壓力控制的解決方案

（71）短程分子蒸餾器的升級改造以實現(xiàn)高精度的真空控制

（72）高精度真空壓力控制儀在昆蟲學實驗用自動氣壓室中的應(yīng)用

（73）超高精度PID串級控制器和電氣比例閥在輪胎硫化飽和蒸汽外溫變溫控制中的應(yīng)用

（74）具有備份傳感器功能的超高精度PID調(diào)節(jié)器以保證控制過程的安全性

（75）雙通道PID調(diào)節(jié)器用于熱離子發(fā)電裝置中真空壓力和溫度的同時控制

（77）實驗室用冷凍干燥機實現(xiàn)高精度壓力和真空度控制的解決方案

（78）采用壓力串級控制法實現(xiàn)氣動馬達高精度調(diào)節(jié)的解決方案

（79）雙層玻璃反應(yīng)釜高精度真空壓力（正負壓）控制解決方案

（80）閥門定位器的技術(shù)演變及其更新?lián)Q代——電氣比例閥

（81）代替塞規(guī)的高精度孔徑測量方法——泊肅葉壓差法

（82）低溫刻蝕和沉積工藝中制冷系統(tǒng)的壓力和溫度準確控制解決方案

（83）反重力鑄造調(diào)壓技術(shù)——高精度快速壓力控制解決方案

（84）低溫超導測試系統(tǒng)中實現(xiàn)高精度液氦壓力控制的解決方案

（85）幾種溫度跟蹤控制方法及其超高精度多功能PID控制器

（86）醫(yī)用球囊和導管成型過程中自動和手動精密壓力控制的解決方案

（88）血液透析過濾芯氣密性檢測裝置中的精密壓力控制解決方案

（89）高精度真空度控制技術(shù)在液相電子顯微鏡液體厚度調(diào)節(jié)中的應(yīng)用

（91）咖啡和茶飲品低溫沖泡和充氮中的真空壓力控制解決方案

（92）高精度真空度程序控制在真空解凍過程中的應(yīng)用

（93）在PID控制器上如何實現(xiàn)正弦波等周期性變量的控制

（95）伸縮和壓力雙參數(shù)精密控制在氣囊拋光中的應(yīng)用

（96）脈沖激光高階諧波產(chǎn)生器的真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及其精密控制解決方案

（97）熱波法導熱系數(shù)測試中的正弦波溫度控制解決方案

（98）啤酒生產(chǎn)工藝中的壓力可編程自動精密控制解決方案

（99）一種新型低造價低壓電子束焊接機中的真空控制系統(tǒng)

（100）真空壓力精密控制技術(shù)在食物油炸過程中的應(yīng)用

（101）熱釋電系數(shù)測試中帕爾帖半導體制冷片正弦波溫度控制解決方案

（102）溫度PID串級控制器在提高空氣膜分離制氮產(chǎn)量中的應(yīng)用

（103）徹底講清如何實現(xiàn)各種單晶爐的0.1%超高精度真空壓力控制

（104）24位AD和16位DA超高精度PID串級控制器在張力控制中的應(yīng)用

（105）真空壓力控制方法在X射線探測器窗口薄膜材料楊氏模量測量中的應(yīng)用

（107）半導體封裝用除泡烤箱真空壓力可編程PID控制的解決方案

（108）調(diào)制式差示掃描量熱法MTDSC中實現(xiàn)正弦波溫度控制的解決方案

（109）超高真空度自動控制解決方案：手動可變泄漏閥與電控針閥和組合

（110）半導體設(shè)備中的超高精度微正壓控制解決方案

（111）帕爾貼熱電裝置在形狀記憶合金相變溫度測量中的應(yīng)用

（112）高精度串級控制器在印刷和噴繪設(shè)備油墨流量控制中的應(yīng)用

（113）工業(yè)PID調(diào)節(jié)器相對于可編程邏輯控制器PLC的幾大優(yōu)點

（114）正負壓力高精度控制在隱形牙齒矯治器熱成型工藝中的應(yīng)用

（115）換熱器熱疲勞試驗裝置的溫度交變控制解決方案

（116）耐腐蝕流量調(diào)節(jié)閥和混合調(diào)節(jié)功能PID控制器在次氯酸消毒劑制備中的應(yīng)用

（117）超高真空度調(diào)節(jié)用安捷倫和VAT電動可變泄漏閥的國產(chǎn)化替代

（118）長光程氣體吸收池的真空壓力精密控制解決方案

（119）包括高真空、低真空和正壓壓力的全量程高精度控制解決方案

（120）微反應(yīng)器中的精密壓力控制解決方案

（121）微流控壓力控制器和微流控注射泵的性能比較

（123）串級控制在微流控芯片氣壓驅(qū)動進樣系統(tǒng)高精度流量調(diào)節(jié)中的應(yīng)用

（124）真空和壓力控制技術(shù)在離體肺通氣裝置中的應(yīng)用

（125）紅外鎖相法無損檢測中的高精度熱波控制解決方案

（126）電子針閥冷卻流量閉環(huán)控制技術(shù)在降低電主軸熱誤差中的應(yīng)用

（127）石英燈和石墨加熱器熱真空試驗裝置中的低氣壓控制解決方案

（128）慢速減壓控制技術(shù)在預防同步輻射光源和原位透射電鏡氮化硅窗口膜破裂中的應(yīng)用

（129）氣相色譜儀負壓微量進樣裝置的高真空度控制解決方案

（130）三軸儀月壤制樣和力學性能測試中的超高真空度控制解決方案

（131）氣體擴散層（GDL）涂布工藝中的高精度微張力控制解決方案

（132）采用液氮壓力恒定和輔助加熱技術(shù)實現(xiàn)超高精度低溫控制的解決方案

（133）氣管插管球囊壓力自動控制解決方案

（135）超導材料LK-99燒制工藝中高真空度及其氣氛環(huán)境控制的解決方案

（136）銅卡計混合法比熱容測定儀的絕熱量熱計溫度精密控制解決方案

（137）雙閉環(huán)比值控制中的耐腐蝕高速針閥和多功能PID控制器解決方案

（138）單晶硅太陽能電池熱氧化工藝中的正負壓力精密控制解決方案

（139）溫度疲勞試驗系統(tǒng)中的石英燈和液氮氣體加熱制冷控制解決方案

（140）MEMS密封件漏率和內(nèi)部真空度監(jiān)測的間接氦質(zhì)譜檢漏法

（141）百度文心一言在開發(fā)高真空度精密控制裝置中的應(yīng)用案例

（142）真空壓力和流量控制技術(shù)在環(huán)境掃描電子顯微鏡樣品桿流體處理中的應(yīng)用

（143）高溫高壓反應(yīng)量熱計樣品池溫度絕熱和外部壓力補償?shù)慕鉀Q方案

（144）超高真空度精密控制中的皮拉尼計和電離規(guī)信號線性化處理解決方案

（145）具有超強冷卻能力的新型膜基散熱器的壓力和溫度控制解決方案

（146）微間隙氣體放電特性分析中的不同壓力精密控制解決方案

（147）真空工藝和儀器設(shè)備中的真空度控制關(guān)鍵部件的國產(chǎn)化替代現(xiàn)狀

（148）低溫結(jié)霜可視化實驗裝置中的精密真空度控制策略

（149）耐腐蝕電控針閥實現(xiàn)微量樣品靜態(tài)法飽和蒸氣壓自動測量解決方案

（150）環(huán)境壓力原子力顯微鏡實現(xiàn)從超高真空到1bar的可變壓力解決方案

（151）玻璃熔窯高精度穩(wěn)定壓力控制方法及其控制系統(tǒng)解決方案

（152）低漏率電動針閥在電池熱失控試驗箱大氣環(huán)境壓力模擬控制中的應(yīng)用

（153）采用夾管閥實現(xiàn)無菌流體系統(tǒng)中的高精度壓力控制解決方案

（154）定容法梯度充氣式SF6氣室容積測定中的電控針閥自動化解決方案

（155）體外循環(huán)裝置中供血流量的高精度自動控制解決方案

（156）壓敏涂料校準裝置中的溫度、真空壓力和氧濃度精密控制解決方案

（157）顯微鏡探針臺真空壓力和氣氛精密控制的解決方案

（158）低氣壓環(huán)境沿面閃絡(luò)特性測試中的真空度精密控制解決方案

（159）碳纖維增強樹脂基復合材料高溫透率測試中真空度精密控制解決方案

（160）光聲光譜檢測裝置中光聲池的高精度氣體壓力控制解決方案

（161）真空熱重分析儀技術(shù)改造：寬量程真空壓力精密控制解決方案

（162）寬變壓環(huán)境質(zhì)譜儀進樣系統(tǒng)中的電動針閥精密壓力控制解決方案

（163）高溫管式爐真空控制系統(tǒng)技術(shù)升級改造解決方案

（164）高海拔低氣壓模擬試驗箱中高精度真空度程序控制解決方案